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本发明实施例提供一种薄膜图案修复装置及其修复方法、清洗方法，涉及显示技术领域，能够解决现有技术中采用颜料修复法时，修复后的薄膜层厚度不均匀的问题。其中，所述薄膜图案修复装置包括物料供给控制器、至少一个物料瓶、至少一个修复部以及修复驱动器。在...该专利属于合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。