下载一种多晶硅锭制备方法的技术资料

文档序号:11283036

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本发明涉及一种多晶硅生产方法。利用多晶硅铸锭炉六面加热的独特优势,精确控制加热和融化过程热场温度,优化温度梯度,获得硅晶体定向生长的最佳固液界面和长晶速率,从而获得具有特定取向的晶体硅锭。得到的晶体尺寸均匀、大小一致,且能有效改善硅晶体内部...
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