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本发明涉及激光陀螺技术领域，具体涉及一种超低损耗反射镜镀膜基板节瘤缺陷预处理方法。其通过酸、碱溶液化学清洗、超声波物理清洗与高能宽束离子束清洗相结合，能够有效去除0.5μm以上的节瘤缺陷种子源。该方法可以在有效去除表面有机污染物和污染颗粒的...该专利属于中国航天科工集团第三研究院第八三五八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国航天科工集团第三研究院第八三五八研究所授权不得商用。