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本发明是一种磷化铟异质结晶体管发射区材料干湿法结合刻蚀制作方法：制作发射极金属条形；采用干法刻蚀设备刻蚀一定厚度发射区材料；采用酸性腐蚀液腐蚀剩余厚度发射区材料；采用自对准方法制备基极接触金属，形成基极与发射极之间的电隔离，完成磷化铟异质结...
该专利属于中国电子科技集团公司第五十五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第五十五研究所授权不得商用。

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