下载磁粉诱导式激光等离子刻蚀绝缘透明材料的方法和装置的技术资料

文档序号:11240759

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本发明提供了一种磁粉诱导式激光等离子刻蚀绝缘透明材料的方法和装置,所述方法是使用磁粉作为吸收层来吸收激光能量,使得能量主要集中辐照在溶液/材料界面上,从而击穿溶液产生等离子体,形成冲击应力和空化应力,作用在绝缘透明材料表面,实现材料去除。降...
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