下载射频LDMOS器件及其制造方法的技术资料

文档序号:11236693

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本发明公开了一种射频LDMOS器件,漂移区由第一注入区和第二注入区组成;第一注入区位于多晶硅栅的第二侧面到第一法拉第屏蔽层的第二侧面之间;第二注入区位于第一法拉第屏蔽层的第二侧面到漏区之间并将漏区包围;所述第二法拉第屏蔽层的第二侧面为靠近所...
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