下载干燥方法和干燥装置的技术资料

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本发明提供一种干燥方法和干燥装置。干燥方法具有以下工序:对设置在干燥室内的干燥对象物进行加热而将该干燥对象物加热至规定温度的工序;维持规定温度的工序;使干燥室内的气压上升至比大气压高的规定气压的工序;使干燥室内的气压从规定气压降低的工序。...
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