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本发明公开了一种基于横向梳齿式电容的微梁断裂强度的测试结构，包括衬底、门字型热执行结构、横向梳齿电容检测结构和被测微粱结构，整个测试结构关于纵向中轴线L完全对称。所述门字型热执行结构的两根纵梁(202)分别垂直连接于横宽梁(201)的两末端...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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