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本实用新型提供一种应力迁移测试结构，包括：若干条互相平行且宽度不等的第一金属线；若干条互相平行且宽度不等的第二金属线，所述第一金属线和第二金属线堆叠，其间通过通孔电连；第一测试金属，与所述第一金属线的其中一端电连；第二测试金属，与所述第二金...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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