下载一种激光对中仪接收系统的技术资料

文档序号:11220598

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本实用新型涉及一种激光对中仪接收系统,包括物镜、分光棱镜、第一位敏探测器PSD1以及第二位敏探测器PSD2,应用于激光对中测量,涉及同轴度、平面度、直线度的测量。本与现有技术相比,改进了光路结构,在测量过程中不需要旋转就可以测量获得角偏量和...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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