下载一种硅片载片篮的技术资料

文档序号:11220356

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本实用新型公开了一种硅片载片篮,主要由上底托、下底托和一对侧板组成,所述的一对侧板相平行设置在所述的上底托和下底托之间,在所述一对侧板的内表面上设有用于承载硅片的硅片卡槽,在所述的一对侧板的同一侧分别设有与其一体成型的后挡片,在所述的一对侧...
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