下载超薄型滤光片镀膜装置的技术资料

文档序号:11218051

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本实用新型公开了一种实现上述超薄型滤光片生产工艺,且能有效提高镀膜均匀度的超薄型滤光片镀膜装置,其包括镀膜腔,所述镀膜腔内设有蒸镀源,所述蒸镀源上设有一外套筒,所述外套筒套设在所述蒸镀源上,所述外套筒的顶部设有一个一端开口的插槽,所述插槽内...
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