下载一种在钠钙基基片使用磁控溅射制备透明导电膜的方法的技术资料

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本发明公开了一种在钠钙基基片上使用磁控溅射制备透明导电膜的方法,该方法通过磁控溅射的方法,在真空室内根据电阻值的不同,沉积不同厚度的氧化铟锡薄膜,所制备的氧化铟锡膜具有电阻均匀性好、电阻率低、高透光率、较好的化学稳定性等特点。具有较好的使用...
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