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本发明提出一种反射镜精密调整装置，设置在光学系统镜座上，其特征在于包括：第一镜环、第二镜环和第三镜环；所述第一镜环和第二镜环之间通过第一簧片组件连接；所述第二镜环和第三镜环通过第二簧片组件连接；所述第一镜环相对于所述第二镜环旋转；所述第二镜...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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