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本发明实施例公开了一种制造热释电红外探测器敏感单元的方法，包括：制备钽酸锂晶片衬底；在钽酸锂晶片衬底的第一表面上形成铬金属薄膜；在铬金属薄膜上形成镍金属薄膜；在镍金属薄膜上形成第一铬镍合金层并刻蚀形成上电极；在钽酸锂晶片衬底的第二表面上形成...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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