下载一种月尘测量仪粘性石英晶体探头涂膜方法的技术资料

文档序号:11206636

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本发明公开了一种月尘测量仪粘性石英晶体(SQCM)探头涂膜方法。使用本发明能够在石英晶体上涂覆真空油脂,且涂膜后形成的粘性石英晶体能够用于月尘测量。本发明首先采用石油醚对石英晶体进行清洗,并挑选频率在9990000Hz~9995000Hz内...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。

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