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一种利用数字掩模制作曲面微透镜阵列的方法技术
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文档序号:11201504
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本发明公开了一种利用数字掩模制作曲面微透镜阵列的方法,首先将曲面微透镜阵列拆分为曲面体和微透镜阵列两个独立部分,再将其沿z轴方向投影,并结合空间光调制器的像素分布以及灰度级数将两个投影分别映射为两个数字掩模,再通过投影光刻系统将这两个数字掩...
该专利属于南昌航空大学所有,仅供学习研究参考,未经过南昌航空大学授权不得商用。
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