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本发明提供了一种多传感器对准系统中离焦倾斜校准与补偿方法及系统，所述方法包括获取主对准传感器和每个辅对准传感器的最佳焦面位置，根据最佳焦面位置获取每个辅对准传感器与主对准传感器之间的最佳焦面偏差；获取每个辅对准传感器与主对准传感器之间的相对...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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