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本发明所提供具磁预压的线性马达精密定位平台构造，包含有一第一座部；一第二座部，位于该第一座部的上方；一滑接机构，位于该第一座部与该第二座部间，并提供一线性的导引方向，据以导引该第二座部可以在该第一座部上进行往复的线性位移；更包含了有一预压机...
该专利属于大银微系统股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大银微系统股份有限公司授权不得商用。

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