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基于石墨烯吸收层的热释电红外探测器及其制造方法技术
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下载基于石墨烯吸收层的热释电红外探测器及其制造方法的技术资料
文档序号:11196675
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本发明实施例公开了一种基于石墨烯吸收层的热释电红外探测器及其制造方法,包括:制备热释电晶体衬底;在热释电晶体衬底的一侧上沉积镍铬合金层形成上电极;在上电极上形成石墨烯红外吸收层;在热释电晶体衬底的与上电极相反的侧上沉积镍铬合金层形成下电极;...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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