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含非晶碳被膜制造技术
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文档序号:11195627
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本发明的课题是提供一种含非晶碳被膜,其是高硬度且具有与基材的高密合力、能够大幅提升加工用工具和机械部件的寿命且实用性极为优秀的含非晶碳被膜。本发明涉及一种含非晶碳被膜,其是在基材上形成的含非晶碳被膜,其中,膜厚分别为0.05μm以上的非晶碳...
该专利属于佑能工具株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佑能工具株式会社授权不得商用。
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