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一种用于磁控溅射的高低压转换装置制造方法及图纸
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下载一种用于磁控溅射的高低压转换装置的技术资料
文档序号:11193795
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本发明公开了一种高低压转换装置,所述装置包括绝缘支架、输入部分、输出部分、传感器感应装置、气动弹起装置、转轴和转动系统;所述绝缘支架上面固定所述输入部分和所述输出部分的电极,所述输出部分的固定电极和所述转动系统的转轴连接在一起;所述转轴带动...
该专利属于中国科学院力学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院力学研究所授权不得商用。
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