下载T形源-漏复合场板功率器件的技术资料

文档序号:11192701

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本发明公开了一种T形源-漏复合场板功率器件,主要解决现有场板技术在实现高击穿电压时工艺复杂的问题。其包括:衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、源极(4)、肖特基漏极(5)、台面(6)、栅槽(7)、栅极(8)、钝化层(9)和保护层(14)...
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