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本发明公开一种测试头模块，包括：测试头，包括至少一凹口设置于测试头的工作面；以及热界面材料，埋设于凹口中，其中热界面材料的固相-液相转换温度介于测试头模块的操作温度与测试头的熔点之间。本发明还提供一种将测试头模块重新修整的方法。...
该专利属于上海兆芯集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海兆芯集成电路有限公司授权不得商用。

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