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本发明实时监测泄漏的洁净工作台，包括：箱体，箱体为一侧开口结构，箱体内部形成工作区；检测结构，检测结构设置在箱体内、位于工作区上部；其中检测结构包括：扫描移动平台，扫描移动平台设置在箱体内、位于工作区上部；移动单元，移动单元设置在扫描移动平...
该专利属于上海力申科学仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海力申科学仪器有限公司授权不得商用。

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