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温湿度可变环境下振动、翻转测试装置的控制方法制造方法及图纸
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文档序号:11187428
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本发明涉及MEMS加速度传感器的标定校准技术,具体是一种温湿度可变环境下振动、翻转测试装置的控制方法。本发明解决了现有MEMS加速度传感器标定校准技术标定校准过程繁琐、标定校准效率低的问题。温湿度可变环境下振动、翻转测试装置的控制方法,该方...
该专利属于苏州中盛纳米科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州中盛纳米科技有限公司授权不得商用。
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