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本发明提供在通过气相合成得到的单晶金刚石晶种基板上稳定地追加堆积气相合成单晶金刚石而制造高质量的单晶金刚石的方法。一种在通过气相合成得到的单晶金刚石晶种基板上追加堆积气相合成单晶金刚石的单晶金刚石的制造方法，其特征在于，包括以下工序：(1)...该专利属于信越化学工业株式会社;独立行政法人产业技术综合研究所所有，仅供学习研究参考，未经过信越化学工业株式会社;独立行政法人产业技术综合研究所授权不得商用。