下载丙酮气敏半导体传感器的技术资料

文档序号:11185865

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本发明提供了一种丙酮气敏半导体传感器,包括:底座;支撑层,下表面与底座连接;金属层,设置在支撑层的上表面,金属层包括电隔离的加热电阻和电极;绝缘层,下表面与加热电阻连接;敏感层,设置在绝缘层上,且与电极电连接;应力调节层,设置在支撑层的下表...
该专利属于中国科学院重庆绿色智能技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院重庆绿色智能技术研究院授权不得商用。

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