下载批量化MEMS加速度传感器自动锁紧装置的技术资料

文档序号:11185009

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本发明涉及MEMS加速度传感器的振动试验技术,具体是一种批量化MEMS加速度传感器自动锁紧装置。本发明解决了现有振动台夹具导致振动试验耗时长、效率低的问题。批量化MEMS加速度传感器自动锁紧装置,包括执行部分和控制部分;所述执行部分包括振动...
该专利属于苏州中盛纳米科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州中盛纳米科技有限公司授权不得商用。

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