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一种优化准分子激光微透镜阵列均束装置的方法制造方法及图纸
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文档序号:11180021
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一种优化准分子激光微透镜阵列均束装置的方法,属于激光外光路系统的设计及其应用领域。通过使用激光光束分析仪拍摄得到准分子激光光斑能量分布图像(1),将像素所携带的光能量强度信息量化并根据微透镜单元所形成的光通道划分成网格区域,分别选择围绕光轴...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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