下载多晶CaF2构件、用于等离子体处理装置的构件、等离子体处理装置及聚焦环的制造方法的技术资料

文档序号:11171415

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本发明的多晶CaF2构件由下述组合体构成,所述组合体是将由CaF2构成的复数个多晶体压接而成的。...
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