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下载蒸镀源的技术资料

文档序号:11170759

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本发明公开一种蒸镀源。根据本发明的一实施例的蒸镀源包括:主体部件,形成为使有机物从上侧排出;加热单元,包括形成于所述主体部件的下部的第一线圈部和形成于所述主体部件的上部且比所述第一线圈部释放相对更多的热量的第二线圈部。根据这种结构,由于主体...
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