下载绝缘栅双极型晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:11170341

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本发明公开了一种绝缘栅双极型晶体管(IGBT),其衬底为N型,N型衬底背面设有P型区,P型区背面设有背面金属结构,终端结构内设有终端保护环,有源区的正面设有多晶硅栅,衬底上多晶硅栅的两侧设有侧墙,衬底上设有覆盖多晶硅栅和侧墙的层间介质,层间...
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