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一种用于抽空至少5个体积的真空泵系统，包括一个前级真空泵和一个涡轮分子泵安排，该系统被安排为使得该前级真空泵将该涡轮分子泵安排的输出端泵抽至大气压。该涡轮分子泵安排包括对应于不同的泵抽级的多个泵抽端口并且被配置为使得存在至少5个泵抽级，每个...
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