下载静电容量式力度传感器的技术资料

文档序号:11169722

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本发明公开了一种干涉式静电容量式力度传感器,包括一芯轴,所述芯轴上套接有变芯转轴,所述转轴外连接有壳体,所述壳体一端设置有绝缘正电极板,另一端依次设置有接地负电极板、绝缘干涉电极板、所述负电极板、干涉电极板、连接在所述芯轴上,所述正电极板不...
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