下载磁控溅射氧化物层的摩擦发电机及摩擦发电机组的技术资料

文档序号:11168055

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本实用新型公开了一种磁控溅射氧化物层的摩擦发电机及摩擦发电机组。其中,磁控溅射氧化物层的摩擦发电机包括:具有摩擦界面的摩擦发电结构;以及至少一层氧化物层,所述氧化物层通过磁控溅射的方式设置在所述摩擦发电结构的摩擦界面的至少一个摩擦表面上。本...
该专利属于纳米新能源(唐山)有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过纳米新能源(唐山)有限责任公司授权不得商用。

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