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本实用新型公开了一种能够降低生产成本的PECVD装置。该装置包括设置有炉门的真空沉积室，真空沉积室内设有石墨舟，真空沉积室上设有进气口与排气口，所述排气口上连接有排放管，排放管末端连接有设置有真空泵，真空泵的出口连接有尾排管，所述真空沉积室...
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