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本发明揭示了一种磁传感器及其制备工艺，所述制备工艺包括：在基底上沉积介质材料，形成第一介质层；在第一介质层上形成沟槽阵列；沟槽开口处的宽度大于深度；沉积磁材料，形成磁材料层；在磁场中进行退火，退火气氛为氮气，或为惰性气体，或为真空；制备填充...
该专利属于上海矽睿科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海矽睿科技有限公司授权不得商用。

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