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本发明揭示了一种磁传感装置的制备工艺，所述装置包括第三方向磁传感部件，第三方向磁传感部件包括基底、导磁单元、感应单元；基底表面开有沟槽；导磁单元的主体部分设置于沟槽内，用以收集第三方向的磁场信号，并将该磁信号输出到感应单元进行测量；感应单元...
该专利属于上海矽睿科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海矽睿科技有限公司授权不得商用。

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