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本发明公开了一种等离子体处理设备及其机台外罩，通过在机台外罩的侧壁安装与介电窗呈一定角度的风扇，并在未安装风扇的侧壁设置若干气孔，可以实现对介电窗口的快速均匀降温。同时，在环盖上设置隔热/绝热材料的隔热圈与介电窗相接触，能够有效阻止热量从介...
该专利属于中微半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

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