专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
日立乐金光科技株式会社
>
光学测量装置和光学层析方法制造方法及图纸
>技术资料下载
下载光学测量装置和光学层析方法的技术资料
文档序号:11160517
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种抑制层间串扰和散斑等因光学干涉引起的噪声的小型且价廉的光学测量装置和光学层析方法。光学测量装置包括:出射激光的光源;在驱动上述光源的驱动电流上叠加高频电流的高频叠加单元;使上述激光分束为信号光和参考光的光分束元件;使上述信号光...
该专利属于日立乐金光科技株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日立乐金光科技株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。