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半导体器件及制造半导体器件的方法技术
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文档序号:11152685
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本申请公开一种半导体器件及制造半导体器件的方法,该半导体器件包括:晶体管,形成在半导体衬底上;第一绝缘薄膜,形成在该半导体衬底上方;以及第一和第二电容器,位于该第一绝缘薄膜上。该第一电容器包括下部电极、铁电体和上部电极。该下部电极和该上部电...
该专利属于富士通半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过富士通半导体股份有限公司授权不得商用。
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