下载一种红色LED芯片制程工艺中的电极制作方法的技术资料

文档序号:11134389

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本发明公开了一种红色LED芯片制程工艺中的电极制作方法,将蒸镀完P面、N面的LED芯片置于黄光室内,在P面涂保护胶;在保护胶层上设置掩膜板,然后进行光照,形成保护层;进行显影定影,对P面的金属层进行蚀刻,形成P面的接触电极,并进行去胶清洗;...
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