下载一种控制单晶黑边的生产工艺方法的技术资料

文档序号:11118399

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种控制单晶黑边的生产工艺方法,包括硅料分检工序、硅料清洗工序、硅成炉料配制工序、拉晶工序和冷却工序,其特征在于:硅料的电阻率大于0.5Ω*cm,寿命高于2μS,碳含量小于2e17atom/cc;硅料的直径大于0.5mm,在拉晶工...
该专利属于宁晋松宫电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁晋松宫电子材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。