下载含有铬氧化物的强磁性材料溅射靶的技术资料

文档序号:11108522

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种强磁性材料溅射靶,其含有包含钴;或者钴、铬;或者钴、铂;或者钴、铬、铂的基体相和至少包含铬氧化物的氧化物相,其特征在于,含有合计为100重量ppm以上且15000重量ppm以下的Zr、W中的任意一种以上元素,相对密度为97%以上。本发明...
该专利属于吉坤日矿日石金属株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过吉坤日矿日石金属株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。