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用于将材料沉积于电子基板(12)上的材料沉积系统(10，30)，包括：框架(20，32)；支撑件(22)，其联接至所述框架并且构造为在沉积操作期间支撑电子基板(12)；构台(24，38)，其联接至所述框架(20，33)；以及沉积头，其联接至...
该专利属于伊利诺斯工具制品有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过伊利诺斯工具制品有限公司授权不得商用。

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