温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种IPA供应和回收装置，它包括IPA供应装置和IPA回收装置，所述的IPA供应装置包括依次连接的IPA储存桶（1）、供给泵（2）、中转罐A（3）、气动隔膜泵A（4）和过滤器（5），气动隔膜泵A（4）的出液端通过管道抵达设备使用...
该专利属于东晶锐康晶体（成都）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东晶锐康晶体（成都）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。