下载基于声表面波原理的激发式无源气体传感器的技术资料

文档序号:11087752

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本实用新型公开了一种基于声表面波原理的激发式无源气体传感器,包括声表面波发生装置、声表面波激发装置、探测光束发射装置以及光束强度检测装置,所述声表面波发生装置包括金属靶材和设于金属靶材表面的气体选择性吸附膜,所述声表面波激发装置向声表面波发...
该专利属于国家电网公司;国网浙江省电力公司湖州供电公司;国网浙江安吉县供电公司所有,仅供学习研究参考,未经过国家电网公司;国网浙江省电力公司湖州供电公司;国网浙江安吉县供电公司授权不得商用。

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