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树脂结合线锯用的粘接剂组合物以及树脂结合线锯的制造方法技术
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文档序号:11072323
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提供一种高效地制造使铸锭切割工序稳定化、平滑且由切割导致的晶圆表面损伤层的厚度小的树脂结合线锯的方法,以及适合于该方法的树脂结合线锯用的粘接剂组合物。一种树脂结合线锯用的粘接剂组合物,其用于制造在金属芯线表面借助树脂结合而固结有磨料的树脂结...
该专利属于株式会社TKX所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社TKX授权不得商用。
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