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本发明涉及一种多晶硅锭的制备方法,包括以下步骤:在坩埚内设置熔融状态的硅料,其中所述坩埚的内底面为相对水平方向倾斜设置的斜面,所述坩埚的底部的厚度在水平方向上逐步增大;控制长晶时的热场,使横向温度梯度大于纵向温度梯度,使硅料沿水平方向或与竖...该专利属于保利协鑫(苏州)新能源运营管理有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过保利协鑫(苏州)新能源运营管理有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种多晶硅锭的制备方法,包括以下步骤:在坩埚内设置熔融状态的硅料,其中所述坩埚的内底面为相对水平方向倾斜设置的斜面,所述坩埚的底部的厚度在水平方向上逐步增大;控制长晶时的热场,使横向温度梯度大于纵向温度梯度,使硅料沿水平方向或与竖...